| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 日本光驰 | 型号 | 光驰OTFC-1300 |
| 新旧程度 | 9成新 | 类型 | 其他 |
| 设备所在地 | 广东东莞 | ||
二手日本光驰OTFC-1300光度镀膜机 光学蒸发镀膜机适合AR AF膜
联系：韦小姐 17687705997
工件架:Ф1400
工件架转速:10rpm to30rpn(可变)
光学膜厚控制:HOM2--R-VIS350A
光学膜厚监控仪:
波长范围:350nm to1100nm |反射式/透射式
水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源:2套日本电子16P双抢
离子源:23寸光驰RF离子源
排气系统:机械泵2个，扩散泵Polycold(或2个冷凝泵)275机械泵+爱德华配套罗茨泵
性能
达到压力:7.0x10-5Pa以下
排气时间:20分(大气压~1.3X10-3Pa)
基板温度:350C
工作条件
设备尺寸:药500n00)x7200n(D)X53700nn
电源:3相 200v 50/60Hz 约120KVA
水流量:180升/分以上
空气压力:0.5MPa以上
重量:约11000kg