详细参数 |
品牌 | 日本光驰 | 型号 | 光驰OTFC-1300 |
新旧程度 | 9成新 | 类型 | 其他 |
设备所在地 | 广东东莞 | | |
新柯隆溅射机RAS-1100c的规格参数可能因具体型号和配置而有所差异,但通常包括以下几个方面:
联系:韦小姐 17687705997
一、基本规格
设备类型:高性能溅射沉积系统
型号:RAS-1100C
生产厂家:新科隆
二、溅射源规格
溅射源类型:磁控溅射源(可能包含射频溅射源等其他类型)
靶材尺寸:通常支持多种尺寸的靶材,具体尺寸需根据设备配置确定(例如,某些应用中可能使用45.6cm×12.7cm×0.5cm的靶材)
溅射功率范围:0-3000W(具体功率可能根据实际应用需求进行调整)
三、真空系统规格
真空度:通常可达到≤10^-6Pa的高真空度,以确保溅射过程的顺利进行和薄膜质量
真空泵类型:可能包括机械泵、扩散泵、分子泵等,具体配置需根据设备型号确定
四、沉积室规格
沉积室尺寸:足够容纳所需尺寸的样品和溅射源
样品台规格:可支持多种尺寸的样品放置,并可实现样品的旋转和移动以优化沉积效果
五、控制系统规格
控制方式:计算机和触摸屏控制,实现自动化操作
控制参数:包括溅射功率、射频频率、工作气压、温度、沉积时间等,可根据实际需求进行精确设置和调整
六、其他规格
电源要求:根据设备配置和实际应用需求确定具体的电源要求(如电压、电流、频率等)
辅助设备:可能包括加热器、冷却器、气体控制系统等,以提供溅射过程中所需的辅助条件
设备尺寸和重量:具体尺寸和重量需根据设备型号和配置确定
七、性能特点
高性能:采用先进的溅射技术,能够制备高质量、高均匀性的薄膜
高稳定性:系统结构设计合理,运行稳定可靠
自动化程度高:控制系统先进,操作简便,易于学习和使用
多功能性:适用于多种材料的薄膜沉积,满足不同客户的需求
请注意,以上规格参数仅供参考,具体参数可能因设备型号、配置以及生产厂家的不同而有所差异。如需获取准确的规格参数,请直接联系新科隆或相关设备供应商进行咨询。
新科隆溅射机RAS-1100c是一款高性能的溅射沉积设备,其应用广泛,包括但不限于以下几个方面:
一、半导体领域
在半导体制造过程中,新科隆溅射机RAS-1100c可用于制备各种薄膜材料,如金属薄膜、合金薄膜、氧化物薄膜和氮化物薄膜等。这些薄膜在半导体器件中起着至关重要的作用,如作为导电层、绝缘层、保护层或功能层等。
二、光学领域
在光学领域,新科隆溅射机RAS-1100c可用于制备光学薄膜,如增透膜、反射膜、滤光膜等。这些薄膜在光学器件中具有重要的应用价值,如提高光学器件的透光性、反射性或滤光性能等。
三、磁学领域
在磁学领域,新科隆溅射机RAS-1100c可用于制备磁性薄膜材料,如铁磁薄膜、亚铁磁薄膜等。这些薄膜在磁记录、磁存储和磁传感器等器件中具有广泛的应用前景。
四、能源领域
在能源领域,新科隆溅射机RAS-1100c可用于制备太阳能电池板上的薄膜材料,如透明导电薄膜、减反射薄膜等。这些薄膜有助于提高太阳能电池的光电转换效率和稳定性。
五、其他领域
此外,新科隆溅射机RAS-1100c还可用于制备各种功能薄膜材料,如超导薄膜、生物医用薄膜等。这些薄膜在超导材料、生物医学工程等领域具有潜在的应用价值。